日本LINTEC琳得科液體流量計(jì)LM-3112L-NN-11SW7XJ001
液體質(zhì)量流量控制器是液體質(zhì)量流量的自動(dòng)控制裝置，液體質(zhì)量流量計(jì)是測(cè)量液體質(zhì)量流量的儀器。
質(zhì)量流量控制器的流量控制原理是利用熱容和流量控制閥的 PID 控制進(jìn)行質(zhì)量流量測(cè)量原理，以調(diào)節(jié)開度并自動(dòng)控制質(zhì)量流量。
液體流量測(cè)量包括體積流量和流速測(cè)量，但從精度和穩(wěn)定性的角度來看，用于微小流量的液體質(zhì)量流量控制（質(zhì)量流量控制）
質(zhì)量流量控制器的流量控制原理是利用熱容和流量控制閥的 PID 控制進(jìn)行質(zhì)量流量測(cè)量原理，以調(diào)節(jié)開度并自動(dòng)控制質(zhì)量流量。
液體流量測(cè)量包括體積流量和流速測(cè)量，但從精度和穩(wěn)定性的角度來看，用于微小流量的液體質(zhì)量流量控制（質(zhì)量流量控制）
Parameter
規(guī)格參數(shù)
高性能質(zhì)量流量計(jì)
高性能數(shù)字液體質(zhì)量流量計(jì)，帶有集成液體流量傳感器和 PID 控制器，用于微小流量。
LM-3000L 配備了高精度液體流量傳感器。 C2H5OH 等效滿量程 0.1g/min ~ 20g/min 高精度微流量測(cè)量。
由于它具有內(nèi)置 PID 控制器，因此可以通過將其與 Lintec 的閥門配備產(chǎn)品（蒸發(fā)器、控制閥）相結(jié)合來控制液體的流速。
微流量液體測(cè)量
汽化流量控制
精度± 1% F.S.
金屬密封件
清潔（保證顆粒）
RS-485 通信
Particulars
產(chǎn)品詳情
液體汽化流量的流量控制
通過將液體質(zhì)量流量計(jì) （LM-3000L） 與 Lintec 制造的內(nèi)置控制閥的蒸發(fā)器 （VU） 相結(jié)合，可以控制在汽化室之前引入蒸發(fā)器的流量。 因此，實(shí)現(xiàn)了高響應(yīng)性汽化的流量控制，而不受汽化器熱量的影響。
液體流量控制
通過將 Lintec 控制閥 （CV-1000） 與內(nèi)置 PID 控制器的液體質(zhì)量流量計(jì) （LM-3000L） 相結(jié)合，它可以用作液體質(zhì)量流量控制器。
在半導(dǎo)體制造過程中，TEOS 等液體源比氣體更昂貴且更易于處理，它們會(huì)蒸發(fā)和變形。 在制造工藝方面，供應(yīng)量很大，而且許多最新的原材料都是低蒸氣壓材料。 由于供料量和耐熱溫度是使用氣體 MFC 的傳統(tǒng)烘烤方法的瓶頸，因此需要一種溫度限制較少且供料量大的直接汽化方法。 但是，在直接汽化法中，反應(yīng)氣體的流速是在液相中控制的，因此一個(gè)小的誤差就會(huì)對(duì)反應(yīng)產(chǎn)生很大影響。
以 H2O 為例，當(dāng) 1 ml 液相在理想狀態(tài)下汽化時(shí)，它會(huì)膨脹到 1,244 ml。 它已成為半導(dǎo)體制造設(shè)備中不可或缺的技術(shù)，它控制液體流速、蒸發(fā)并與之反應(yīng)，這需要對(duì)微小流速進(jìn)行高精度流量控制。
流量控制裝置包括 1 ml/min 或更低的計(jì)量泵，但計(jì)量泵連續(xù)執(zhí)行機(jī)械切換作，從而導(dǎo)致脈動(dòng)。 沒有機(jī)械切換的注射泵不會(huì)產(chǎn)生脈動(dòng)，但泵的體積有限，因此不適合連續(xù)進(jìn)料。
此外，當(dāng)液體以受控流量引入真空裝置時(shí)，由于計(jì)量泵中的壓差，流量不穩(wěn)定。
液體質(zhì)量流量控制器的流量控制是將氣體等加壓至恒定壓力的液體引入液體質(zhì)量流量控制器，通過內(nèi)部流量傳感器檢測(cè)瞬時(shí)流量，并持續(xù)控制閥門開度，從而無論二次側(cè)是否減壓或大氣壓，都可以控制流量恒定。
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